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一种用于微波还原铜框架表面氧化物的载具

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202023233203.5
  • IPC分类号:H01L21/673
  • 申请日期:
    2020-12-28
  • 申请人:
    无锡中微高科电子有限公司;中国电子科技集团公司第五十八研究所
著录项信息
专利名称一种用于微波还原铜框架表面氧化物的载具
申请号CN202023233203.5申请日期2020-12-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人无锡中微高科电子有限公司;中国电子科技集团公司第五十八研究所申请人地址
江苏省无锡市新区泰山路2号国际科技合作园B楼1A-5座 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡中微高科电子有限公司,中国电子科技集团公司第五十八研究所当前权利人无锡中微高科电子有限公司,中国电子科技集团公司第五十八研究所
发明人张道迎;娄可柱;张浩
代理机构无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)代理人殷红梅;夏苏娟
摘要
本实用新型属于芯片塑封技术领域,公开了一种用于微波还原铜框架表面氧化物的载具,包括载具框架,所述载具框架安装在支撑柱上,载具框架上开有若干卡槽,所述卡槽的侧壁上设有台阶,卡槽的开口处设有挡墙。所述卡槽开口端的载具框架侧壁上设有磁珠,所述挡墙利用磁珠吸附在卡槽的开口处。所述卡槽开口端的载具框架侧壁的两端下侧设有挡块,所述挡墙上对应挡块的位置设有缺口。本实用新型结构简单,便于携带,能够大幅提高产能,减少操作过程中导致的铜框架变形翘曲金丝变形的影响;能够保持铜框架较好的共面性,实现整体整形的作用。

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