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一种双波长反射式数字全息显微镜

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811223764.1
  • IPC分类号:G03H1/00
  • 申请日期:
    2018-10-19
  • 申请人:
    许之敏
著录项信息
专利名称一种双波长反射式数字全息显微镜
申请号CN201811223764.1申请日期2018-10-19
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-01-01公开/公告号CN109116708A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03H1/00IPC分类号G;0;3;H;1;/;0;0查看分类表>
申请人许之敏申请人地址
广东省深圳市南山区科技南十二路28号康佳研发大厦12楼A2室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人许之敏当前权利人许之敏
发明人张旭辉;许之敏
代理机构北京盛凡智荣知识产权代理有限公司代理人尚欣
摘要
本发明公开了一种双波长反射式数字全息显微镜,第一光源的线偏振方向平行于光路平面,第二光源的线偏振方向垂直于光路平面;第一光源发出的光经第一偏振分光棱镜透射后被分光棱镜分为透射光和反射光,透射光经透镜、物镜后从样品表面返回被相机获取作为物光束;反射光经第二偏振分光棱镜、第一延时系统进行、第一二分之一波片、第一反射镜、第二反射镜、分光棱镜作为参考光束射入相机,参考光束与物光束的干涉条纹将被相机获取;第二光源发出的光的参考光束与物光束的干涉条纹同样被相机获取。本发明的有益效果是全息显微镜更加紧凑和便于集成。本发明涉及数字全息显微镜领域,可用于样品的三维实时形貌测量。

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