测量扫描电子显微镜的性能的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN02802988.7
IPC分类号：H01J37/26;H01L21/66
申请日期：
2002-07-19
申请人：
皇家菲利浦电子有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	测量扫描电子显微镜的性能的方法
申请号	CN02802988.7	申请日期	2002-07-19
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-02-18	公开/公告号	CN1476627
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/26 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/26 电子或离子显微镜；电子或离子衍射管〔2〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;2;6;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	皇家菲利浦电子有限公司	申请人地址	荷兰艾恩德霍芬变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	皇家菲利浦电子有限公司	当前权利人	皇家菲利浦电子有限公司
发明人	P·迪尔克森;R·J·G·埃尔夫林克;C·A·H·于费尔曼斯
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	肖春京;章社杲

摘要

扫描电子显微镜(SEM)(10)的性能通过以SEM扫描多孔硅表面区域(PSF、PSC)、计算表面区域的图象的傅立叶变换频谱(Fc)并在零信噪比(SNR)的情况下从频谱的宽度(W(1/e))、信号振幅(Sa)和噪声偏移外推分辨率(R)而被测定出来，其中，每个多孔硅表面区域都具有不同的平均微孔尺寸。提供有不同的表面区域的测试样本通过在恒定电流下阳极氧化硅衬底(Su)、同时持续减少衬底暴露在蚀刻电解液(EL)中的区域而得到。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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