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一种用于硅片插片机的供料槽

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201521138610.4
  • IPC分类号:B65G51/01;H01L31/18
  • 申请日期:
    2015-12-31
  • 申请人:
    苏州博阳能源设备有限公司
著录项信息
专利名称一种用于硅片插片机的供料槽
申请号CN201521138610.4申请日期2015-12-31
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G51/01IPC分类号B;6;5;G;5;1;/;0;1;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人苏州博阳能源设备有限公司申请人地址
江苏省苏州市吴中区旺吴路28号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州博阳能源设备有限公司当前权利人苏州博阳能源设备有限公司
发明人邱文良
代理机构苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)代理人王华
摘要
一种用于硅片插片机的供料槽,包括供料槽槽体和水泵,所述供料槽槽体设有溢流口,该溢流口通过管路与一储液槽连通;所述供料槽槽体内设有用以盛放堆垛硅片的承托平台,该承托平台与一上下移动驱动装置的驱动部传动连接;所述供料槽槽体上设有液压传感器,该液压传感器与一计算机数控系统信号连接,所述计算机数控系统与所述水泵电连接;所述供料槽槽体内容纳有液体,液体的深度总是大于堆垛的硅片的高度。

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