紫外发射增强的氧化锌薄膜的制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200410067128.6
IPC分类号：--
申请日期：
2004-10-13
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所

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专利名称	紫外发射增强的氧化锌薄膜的制备方法
申请号	CN200410067128.6	申请日期	2004-10-13
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2005-03-30	公开/公告号	CN1600896
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	申请人地址	上海市800－211邮政信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人	洪瑞金;贺洪波;范正修;邵建达
代理机构	上海新天专利代理有限公司	代理人	张泽纯

摘要

一种紫外发射增强的氧化锌薄膜的制备方法，采用磁控反应溅射法，其特征在于：采用99.999％的金属锌作为阴极靶，在阴极靶材中掺入0.1－5wt％的光谱纯的金属铁。本发明方法镀制的掺铁后的氧化锌薄膜的紫外带边发射明显增强，而且成本低。采用纯铁作掺杂剂，氩气作为工作气体、氧气作为反应原料，材料来源丰富，价格低廉，极具开发和应用的价值。

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