通过热处理使TiN薄膜具有自清洁性能的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200610050716.8
IPC分类号：C03C17/22;C03C4/00
申请日期：
2006-05-12
申请人：
浙江大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	通过热处理使TiN薄膜具有自清洁性能的方法
申请号	CN200610050716.8	申请日期	2006-05-12
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2006-10-25	公开/公告号	CN1850689
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C03C17/22 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C03 玻璃；矿棉或渣棉 C03C 玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合 C03C17/00 纤维或丝之外玻璃，例如微晶玻璃的涂覆法表面处理 C03C17/22 用其他的无机材料（C03C 17/34、C03C 17/44优先）〔3〕	IPC分类号	C;0;3;C;1;7;/;2;2;;;C;0;3;C;4;/;0;0查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市浙大路38号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	赵高凌;张天播;郑鹏飞;韩高荣
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	张法高

摘要

本发明公开了一种通过热处理使TiN薄膜表面具有自清洁性能的方法。方法步骤如下：1)用10％的氢氟酸清洗玻璃基板；2)将玻璃基板放入气相沉积反应室，通入TiCl4、NH3和N2进行气相沉积反应，其中TiCl4的流量为200－300sccm，NH3的流量为100－200sccm，N2的流量为700－1000sccm，反应温度为500－700℃，反应时间为60－150s，在玻璃基板表面沉积TiN薄膜；3)将热处理反应室预热至600－800℃，将上述表面覆盖有TiN薄膜的玻璃基板放入热处理反应室中，热处理时间为30min－120min，冷却后得到具有自清洁性能的TiN薄膜。本发明的有益效果在于：通过较为简单的热处理工艺，通过控制热处理的温度和时间，大大改善了TiN薄膜的表面性能，用化学气相沉积法得到兼具低辐射和自清洁功能的镀膜玻璃。

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