具有圆弧形凹槽加热膜区的三维微型加热器及制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201010278511.1
IPC分类号：H05B3/14B81C1/00
申请日期：
2010-09-10
申请人：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	具有圆弧形凹槽加热膜区的三维微型加热器及制作方法
申请号	CN201010278511.1	申请日期	2010-09-10
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2010-12-29	公开/公告号	CN101932146A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05B3/14 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05B 电热；其他类目不包含的电照明 H05B3/00 欧姆电阻加热的 H05B3/10 以材料的成分或性质为特征或者以导体的配置为特征的加热元件（成分本身见有关小类） H05B3/12 以导电材料的成分或性质为特征的 H05B3/14 其材料是非金属的	IPC分类号	H05B3/14;B81C1/00查看分类表>
申请人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	申请人地址	安徽省合肥高新区创新大道2800号创新产业园F3楼16*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	合肥微纳传感技术有限公司	当前权利人	合肥微纳传感技术有限公司
发明人	李铁;许磊;王跃林
代理机构	上海智信专利代理有限公司	代理人	潘振甦

摘要

本发明涉及一种具有圆弧形凹槽加热膜区的三维微型加热器及其制作方法，其特征在于横截面呈圆弧形结构的凹槽形加热膜区通过支撑悬梁与衬底框架相连，加热电阻丝以折线或曲线的形式排布在加热膜区凹槽的内部并通过支撑悬梁上的引线与衬底框架上的电极相连，在加热膜区和支撑悬梁下方是隔热腔体。本发明提供的加热器的加热电阻丝排布在具有三维结构的中心加热膜区的凹槽内部，对流换热引起的热量散失较小，可以有效降低加热器的功耗。圆弧形结构的凹槽形加热膜区避免了转角的存在，使得热应力在加热膜区内均匀分布，从而提高了加热器在高温下的机械强度。

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发明授权

具有圆弧形凹槽加热膜区的三维微型加热器及制作方法

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