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一种用于CO2激光器的射频电源

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201120266766.6
  • IPC分类号:H01S3/09
  • 申请日期:
    2011-07-26
  • 申请人:
    华中科技大学
著录项信息
专利名称一种用于CO2激光器的射频电源
申请号CN201120266766.6申请日期2011-07-26
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01S3/09IPC分类号H;0;1;S;3;/;0;9查看分类表>
申请人华中科技大学申请人地址
湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华中科技大学当前权利人华中科技大学
发明人汪盛烈;秦刚;赵学民;王晓东;杨海;王凡;王立慧;张可;唐会华
代理机构华中科技大学专利中心代理人曹葆青
摘要
本实用新型公开了一种用于CO2激光器的射频电源,它包括正弦波信号源、功率放大器和阻抗匹配器;正弦波信号源与功率放大器的输入端连接,功率放大器的输出端与阻抗匹配器的输入端连接;抗匹配器的输出端与激光器的放电电极连接,并与激光放电气体匹配。由功率放大器输出的功率通过阻抗匹配器耦合到射频CO2激光器的电极,电极对主要成分为CO2的气体放电,放电气体产生等离子体,由此在激光谐振腔内产生激光。该装置和激光头是分体的,这样有利于散热,整个装置放置在金属外壳内,防止射频信号向外辐射。

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