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类金刚石碳薄膜及其质变的方法，和偏振器

发明专利无效专利

申请号：
CN200510084533.3
IPC分类号：G02F1/19;G02B6/27;H04B10/12
申请日期：
2002-12-20
申请人：
住友电气工业株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	类金刚石碳薄膜及其质变的方法，和偏振器
申请号	CN200510084533.3	申请日期	2002-12-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-02-15	公开/公告号	CN1734339
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02F1/19 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02F 用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器〔2，4〕 G02F1/00 控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如，转换、选通或调制；非线性光学〔2，4〕 G02F1/01 对强度、相位、偏振或颜色的控制（G02F 1/29、G02F 1/35优先）〔2，7〕 G02F1/19 基于可变的反射或折射元件的（G02F 1/015至G02F 1/167优先）〔2，5〕	IPC分类号	G;0;2;F;1;/;1;9;;;G;0;2;B;6;/;2;7;;;H;0;4;B;1;0;/;1;2查看分类表>
申请人	住友电气工业株式会社	申请人地址	日本大阪变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	住友电气工业株式会社	当前权利人	住友电气工业株式会社
发明人	大久保総一郎;松浦尚
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	李德山

摘要

一种使类金刚石碳薄膜发生质变的方法，包括如下步骤：利用粒子束或能量束照射类金刚石碳薄膜的至少一个区域，以提高该区域的折射率，从而在所述类金刚石碳薄膜内形成分布式折射率结构。本发明的类金刚石碳薄膜的特征在于其折射率分布呈现为一种相对该薄膜的厚度倾斜地取向的图案。

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