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负型感光性树脂组合物、图案形成方法和液体排出头

发明专利有效专利

申请号：
CN201180008290.9
IPC分类号：G03F7/004;B41J2/05;B41J2/16;G03F7/038
申请日期：
2011-01-27
申请人：
佳能株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	负型感光性树脂组合物、图案形成方法和液体排出头
申请号	CN201180008290.9	申请日期	2011-01-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-10-17	公开/公告号	CN102741749A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/004 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;B;4;1;J;2;/;0;5;;;B;4;1;J;2;/;1;6;;;G;0;3;F;7;/;0;3;8查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京都大田区下丸子3丁目30番2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	高桥表;池龟健;下村雅子
代理机构	北京魏启学律师事务所	代理人	魏启学

摘要

一种感光性树脂组合物，其包括：阳离子可聚合化合物、具有阳离子部分和阴离子部分的光酸产生剂，和具有含有季铵结构和季鏻结构中任一的阳离子部分和阴离子部分的盐，其中将所述盐的阴离子部分与源自所述光酸产生剂的阴离子部分的第一酸中的阴离子部分交换，从而形成具有比所述第一酸的酸强度更低的酸强度的第二酸。

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