一种湿法光胶装置的检测方法及检测装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201910559710.0
IPC分类号：G01V8/12
申请日期：
2019-06-26
申请人：
上海微电子装备(集团)股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种湿法光胶装置的检测方法及检测装置
申请号	CN201910559710.0	申请日期	2019-06-26
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-12-29	公开/公告号	CN112147710A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01V8/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01V 地球物理；重力测量；物质或物体的探测；示踪物（用于指示因事故被掩埋的人的位置，例如，被雪掩埋的人的位置的装置入A63B 29/02）〔4，6〕 G01V8/00 用光学装置勘探或探测〔6〕 G01V8/10 探测，例如，用光垒（用来自目标的反射光入G01S 17/00）〔6〕 G01V8/12 用一个发射器和一个接收器〔6〕	IPC分类号	G;0;1;V;8;/;1;2查看分类表>
申请人	上海微电子装备(集团)股份有限公司	申请人地址	上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微电子装备(集团)股份有限公司	当前权利人	上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人	刘明放;吴萍
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	孟金喆

摘要

本发明提供一种湿法光胶装置的检测方法及检测装置，用于检测待测物，待测物包括底板、功能件和位于底板与功能件之间的液层，底板与功能件在液层挥发后粘结在一起，检测装置包括：光源和探测器，光源位于底板的侧面或者底板的底面，底板的底面为底板远离功能件一侧的表面；探测器位于底板的底面，检测方法包括：控制光源发出第一光束并入射到底板中；控制探测器接收被待测物反射的光斑；根据探测器接收到的光斑判断是否存在液层；如果探测器接收到的光斑数量大于两个，则确定待测物中存在液层。本发明提供一种湿法光胶装置的检测方法及检测装置，以实现对待测物中液层的检测。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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