没有内藏大孔隙的Au-Sn合金凸块及其制造方法

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技术领域\n本发明涉及没有内藏大孔隙、特别是没有内藏超过凸块(バンプ)径30％的大孔隙的Au-Sn合金凸块及其制造方法。\n背景技术\n一般来说，在GaAs光元件、GaAs高频元件、导热元件等半导体元件和基板的接合，要求微细且高气密性的SAW滤色器、水晶振荡器等组装密封等中使用Au-Sn合金软钎焊糊料。该Au-Sn合金软钎焊糊料所含的Au-Sn合金粉末已知为具有含有20％(质量百分数)Sn、余量由Au和不可避免杂质构成的组成的Au-Sn共晶合金粉末，该Au-Sn共晶合金粉末通常经过气体喷散而获得。\n还已知在基板上形成孔穴明显的干膜层，在将Au-Sn合金软钎焊糊料埋入在该干膜层的孔穴中后，将上述Au-Sn合金软钎焊糊料进行回流处理，在基板表面上形成Au-Sn合金凸块，除去干膜层作为电极等使用(参照非专利文献1)。\n非专利文献1：第10次电子学的微接合·安装技术讨论论文集Vol.10.2004第95～100页(社团法人焊接学会2004年2月5日发行)\n发明内容\n但是，使用含有上述非专利文献1所记载的具有含有20％(质量百分数)Sn、余量由Au和不可避免杂质构成的组成的Au-Sn合金粉末的糊料制作的Au-Sn合金凸块内部中会产生很大的孔隙、残留并内藏于其中，使用该大孔隙残留并内藏于内部的Au-Sn合金凸块接合半导体元件和基板等时，在接合部中也残留有大孔隙，该接合部的大孔隙成为断裂的起点，无法获得具有可靠性的Au-Sn合金软钎焊糊料的接合部。此时，Au-Sn合金凸块中内藏的孔隙为凸块径30％以下的小孔隙时，由于不能成为断裂的起点，因此不会降低接合部的可靠性。因而，寻求内部内藏大孔隙、特别是超过凸块径30％的大孔隙少的Au-Sn合金凸块。\n因此，本发明人等为了获得内部内藏大孔隙少的凸块而进行研究。结果获得以下研究结果：使用将具有含有20.5～23.5％(质量百分数)Sn、余量由Au和不可避免杂质构成的组成，并且在基体中具有富Sn初晶相结晶析出0.5～30％(面积百分数)的组织的Au-Sn合金粉末与助焊剂混合，获得Au-Sn合金软钎焊糊料，使用获得的Au-Sn合金软钎焊糊料进行回流处理，从而获得的Au-Sn合金凸块中没有残留于凸块内部的大孔隙。\n本发明根据该研究结果而完成，\n(1)没有内藏大孔隙的Au-Sn合金凸块，其具有含有20.5～23.5％(质量百分数)Sn、余量由Au和不可避免杂质构成的组成，并且在基体中具有富Sn初晶相结晶析出0.5～30％(面积百分数)的组织。\n(2)没有内藏大孔隙的Au-Sn合金凸块的制造方法，其特征在于，将具有含有20.5～23.5％(质量百分数)Sn、余量由Au和不可避免杂质构成的组成，并且在基体中具有富Sn初晶相结晶析出0.5～30％(面积百分数)的组织的Au-Sn合金粉末与助焊剂混合，获得Au-Sn合金软钎焊糊料，将该所得糊料涂覆成点状后，进行回流处理.\n本发明的没有内藏大孔隙的Au-Sn合金凸块制造方法中使用的Au-Sn合金软钎焊糊料通过以下方法制造。首先，将具有含有20.5～23.5％(质量百分数)Sn、余量由Au和不可避免杂质构成的组成的Au-Sn合金熔融，获得金属熔融液，将所得金属熔融液保持在温度：600℃～1000℃，在机械搅拌的同时或者在机械搅拌后将该搅拌的金属熔融液以压力：300～800kPa加压，同时在喷射压力：5000～8000kPa的压力下从具有直径1～2mm的小径喷嘴以喷嘴间隔为0.3mm以下喷射惰性气体，制造富Sn初晶相结晶析出0.5～30％(面积百分数)的Au-Sn合金粉末。上述搅拌优选为机械搅拌，机械搅拌内更优选螺旋搅拌。上述机械搅拌还可以并用电磁搅拌等电搅拌，还可以在机械搅拌中并用电磁搅拌。上述机械搅拌的旋转速度并无特别限定，优选60～100r.p.m下螺旋搅拌3～10分钟。该Au-Sn合金粉末的制造方法中，当机械搅拌Au-Sn合金熔融液时，可以获得富Sn初晶相不会生长、增大，且没有富Au初晶相簇的Au-Sn合金熔融液，通过将该搅拌获得的Au-Sn合金熔融液喷散，在基体中富Sn初晶相结晶析出0.5～30％(面积百分数)，获得没有富Au初晶相的Au-Sn合金粉末。将如此获得的Au-Sn合金粉末与市售的含有松香、活性剂、溶剂和增粘剂的助焊剂混合，制作Au-Sn合金软钎焊糊料。\n不对具有含有20.5～23.5％(质量百分数)Sn、余量由Au和不可避免杂质构成的组成的Au-Sn合金熔融液进行机械搅拌、直接气体喷散而获得的Au-Sn合金粉末即便富Sn初晶相结晶析出，其量也极少，其量不会超过0.4％。在将该富Sn初晶相结晶析出量少的Au-Sn合金粉末与市售的助焊剂混合而获得的Au-Sn合金软钎焊糊料点状涂覆于基板上进行回流处理而获得的凸块中，内藏超过凸块径30％的大孔隙。\n另一方面，上述具有富Sn初晶相结晶析出0.5～30％(面积百分数)且无富Au初晶相的组织的Au-Sn合金粉末可以如下制造：对含有20.5～23.5％(质量百分数)Sn、余量由Au和不可避免杂质构成的组成的Au-Sn合金熔融液进行机械搅拌，将该机械搅拌的Au-Sn合金熔融液喷散，从而制造。将作为该Au-Sn合金粉末与市售助焊剂的混合体的Au-Sn合金软钎焊糊料点状涂覆在基板上进行回流处理而获得的凸块，其内在的孔隙的数量少，同时完全没有产生超过凸块径30％的大孔隙。\n将本发明Au-Sn合金凸块所含的Sn含量限定于20.5～23.5％(质量百分数)的原因在于，凸块所含Sn的含量小于20.5％(质量百分数)时，富Au初晶相结晶析出、熔点增高、熔融液粘性增高，在糊料熔融中产生的气体被捕获在基板附近，在凸块内部残留孔隙，因此不优选；而当Sn的含量超过23.5％(质量百分数)时，即便对金属熔融液进行机械搅拌，粗大的富Sn初晶相也会结晶析出，而且富Sn初晶相整体结晶析出超过30％(面积百分数)，孔隙难以从凸块内部除去，残留于凸块内部，因此不优选。\n将在用于制作本发明Au-Sn合金凸块所用的Au-Sn合金糊料所含Au-Sn合金粉末中结晶析出的富Sn初晶相限定为结晶析出0.5～30％(面积百分数)的原因在于，在Au-Sn合金粉末的截面中结晶析出的富Sn初晶相的量小于0.5％(面积百分数)时，产生富Au初晶相，该Au富含相与其它共晶组织部相比，熔点增高，因此在相同温度下熔融液粘性高，在糊料熔融中产生的气体被捕获，成为孔隙产生的原因，因此不优选；另一方面，当在Au-Sn合金粉末的截面中富Sn初晶相结晶析出超过30％(面积百分数)时，粉末的熔点明显地向高温移动，富Sn初晶相的比例增高，通过从共晶点位移，熔点增高、熔融液的粘度增高、流动性降低，在糊料熔融时产生的气体被捕获，成为孔隙产生的原因，因此不优选.用于制作本发明Au-Sn合金凸块所用Au-Sn合金糊料所含Au-Sn合金粉末中结晶析出的富Sn初晶相的结晶析出量更优选的范围为10～20％(面积百分数).\n本发明的Au-Sn合金凸块由于内部没有内藏超过凸块径30％的大孔隙，因此与以往的Au-Sn合金凸块相比，由孔隙起点所导致的断裂发生可能性低、接合部的可靠性优异，半导体装置的不良品发生率也减少，可以降低成本，获得产业上优异的效果。\n附图说明\n图1为Au-Sn合金凸块1截面的金属显微镜组织照片。\n图2为Au-Sn合金凸块2截面的金属显微镜组织照片。\n图3为Au-Sn合金凸块3截面的金属显微镜组织照片。\n图4为Au-Sn合金凸块4截面的金属显微镜组织照片。\n图5为Au-Sn合金凸块5截面的金属显微镜组织照片。\n图6为Au-Sn合金凸块6截面的金属显微镜组织照片。\n图7为Au-Sn合金凸块7截面的金属显微镜组织照片。\n图8为Au-Sn合金凸块8截面的金属显微镜组织照片。\n图9为Au-Sn合金凸块9截面的金属显微镜组织照片。\n图10为Au-Sn合金凸块10截面的金属显微镜组织照片。\n图11为Au-Sn合金凸块11截面的金属显微镜组织照片。\n具体实施方式\n在高频熔融炉中熔融具有表1所示成分组成的Au-Sn合金，将所得金属熔融液保持在表1所示温度，同时以表1所示旋转数使螺旋杆旋转表1所示时间，对金属熔融液进行机械搅拌的同时或者机械搅拌之后，向金属熔融液施加表1所示压力，从设置于高频熔融炉底部的喷嘴使金属熔融液落下，同时从喷嘴周围按照喷嘴间隔为0.2mm而设置的表1所示直径的气体喷嘴向落下的金属熔融液以表1所示喷射压力喷射Ar气体，从而制作气体喷散粉末，利用筛子过筛该气体喷散粉末，制作平均粒径具有20μm的Au-Sn合金粉末。\n将这些Au-Sn合金粉末埋入树脂进行截面研磨，使用EPMA拍摄截面，在该EPMA图像中，随机选择粉末截面直径为15μm的10个样品，使用图像处理软件求得富Sn初晶相占富Sn初晶相粉末截面积的面积百分数，将其结果示于表1中。\n在这些Au-Sn合金粉末中以助焊剂比例为7％(质量百分数)混合市售的RMA助焊剂，制作Au-Sn合金软钎焊糊料1～11。\n接着，使用这些Au-Sn合金软钎焊糊料1～11进行下述测定。\n首先，准备具有长：10mm、宽：10mm、厚：1mm尺寸的含有Si的板，在该板的表面上形成厚度0.5μm的Al溅射膜后，在其上形成厚度0.5μm的Ni-V合金溅射膜，再在其上形成1.0μm的Cu溅射膜，在形成有该Cu溅射膜的板上形成具有直径95μm的孔穴、具有厚度70μm的干膜层，在上述干膜层的孔穴中填充上述Au-Sn合金软钎焊糊料1～11，进行回流处理(预加热150℃/60秒+主加热320℃/60秒)，从而分别制作1000个具有直径80μm、高度60μm尺寸的Au-Sn合金凸块1～11.用1000倍的金属显微镜观察这些Au-Sn合金凸块1～11的截面，拍摄该截面的组织照片，将其组织照片示于图1～11.之后，根据上述组织照片使用图像处理软件测定富Sn初晶相占Au-Sn合金凸块1～11截面积的％(面积百分数)，将它们的测定结果示于表2中.\n分别抽出240个Au-Sn合金凸块1～11，分别使用透射X射线装置对该240个Au-Sn合金凸块1～11测定凸块内藏的孔隙数量和直径，以孔隙径相对于凸块径的比例求得，分类成孔隙径为凸块径10％以下的孔隙、孔隙径为凸块径的超过10％～20％以下的孔隙、孔隙径为凸块径的超过20％～30％以下的孔隙、孔隙径超过凸块径30％的孔隙，求得这些分类的孔隙数量，将它们的结果示于表2中。\n\n\n由图1～11和表2所示的结果可知，含有20.5～23.5％(质量百分数)Sn的Au-Sn合金凸块4～8(本发明凸块)不会产生超过凸块径30％的大孔隙，但含有18.1～18.9％(质量百分数)Sn的Au-Sn合金凸块1～2(比较凸块)、含有20.1％(质量百分数)Sn的Au-Sn合金凸块3(现有凸块)和含有24.1～30.0％(质量百分数)Sn的Au-Sn合金凸块9～11(比较凸块)均会产生超过凸块径30％的大孔隙，因此不优选.