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一种预留芯片线路引脚的正面压印方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202211158451.9
IPC分类号：G03F7/00;G03F7/30;G03F7/42
申请日期：
2022-09-22
申请人：
华天慧创科技(西安)有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种预留芯片线路引脚的正面压印方法
申请号	CN202211158451.9	申请日期	2022-09-22
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-12-02	公开/公告号	CN115421353A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;3;0;;;G;0;3;F;7;/;4;2查看分类表>
申请人	华天慧创科技(西安)有限公司	申请人地址	陕西省西安市经济技术开发区凤城五路123号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华天慧创科技(西安)有限公司	当前权利人	华天慧创科技(西安)有限公司
发明人	刘守航;侯洋坤
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	高博

摘要

本发明属于本发明属于纳米压印领域，具体涉及一种预留芯片线路引脚的正面压印方法。通过变更压印图案印章玻璃基底以及胶水，完成在芯片整面晶圆上直接压印，且通过后续工艺将芯片线路引脚给开出来，保证芯片切割后可以正常使用。

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