一种基于AFM探针结构参数的横向力标定方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201710495829.7
IPC分类号：G01Q40/00
申请日期：
2017-06-26
申请人：
湘潭大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种基于AFM探针结构参数的横向力标定方法
申请号	CN201710495829.7	申请日期	2017-06-26
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2017-09-22	公开/公告号	CN107192856A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q40/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q40/00 校准，例如探针的〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;4;0;/;0;0查看分类表>
申请人	湘潭大学	申请人地址	湖南省湘潭市西郊羊牯塘高岭路5号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湘潭大学	当前权利人	湘潭大学
发明人	郑学军;冯东东;彭金峰;严鑫洋;张欢
代理机构	长沙市融智专利事务所	代理人	颜勇

摘要

本发明公开了一种基于AFM探针结构参数的横向力标定方法，包括下述步骤：在标准实验室环境条件下，测量待测探针法向弹性系数kn和法向灵敏度Sn；测量探针悬臂梁长度l，悬臂梁厚度t及针尖高度h；将kn、Sn、l、t、h的数据代入横向力标定系数α计算公式，即可估算探针的横向力标定系数。本发明的优点在于：(a)本方法不需要使用辅助光栅及任何衬底，可有效降低成本；(b)本方法基于待测探针的结构参数，着重考虑探针本身属性，避免了外部因素对标定的影响；(c)本方法计算简便、各参数能够简单快速获得，可广泛适用于矩形微悬臂梁的AFM探针的横向力标定。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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