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一种束源腔体精确转动的调节装置及其测量方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010159491.X
  • IPC分类号:G01N31/00
  • 申请日期:
    2020-03-10
  • 申请人:
    中国科学院大连化学物理研究所
著录项信息
专利名称一种束源腔体精确转动的调节装置及其测量方法
申请号CN202010159491.X申请日期2020-03-10
法律状态实质审查申报国家暂无
公开/公告日2021-09-10公开/公告号CN113376308A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N31/00IPC分类号G;0;1;N;3;1;/;0;0查看分类表>
申请人中国科学院大连化学物理研究所申请人地址
辽宁省大连市中山路457号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院大连化学物理研究所当前权利人中国科学院大连化学物理研究所
发明人陈荣军;吴国荣;杨学明
代理机构沈阳晨创科技专利代理有限责任公司代理人张晨
摘要
本发明涉及一种束源腔体精确转动的调节装置,由束源真空腔体、齿轮组、同轴齿轮、转动固定板、轴承、设计定制连接件、直驱旋转马达、步进电机和计算机组成。整个调节装置由计算机控制,利用多级齿轮组省力原理,结合步进电机控制技术,提出了针对束源腔体精确转动的调节方案。此装置解决了现有系统的转动不稳定问题和无法对每次转动角度的均一性复位问题,并在此基础上实现了转动控制与数据采集过程的自动化,可以显著提升效率。

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