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一种新的气相沉积控制元件的模块化安装方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201510732918.X
  • IPC分类号:C23C16/455
  • 申请日期:
    2015-10-30
  • 申请人:
    沈阳拓荆科技有限公司
著录项信息
专利名称一种新的气相沉积控制元件的模块化安装方法
申请号CN201510732918.X申请日期2015-10-30
法律状态撤回申报国家暂无
公开/公告日2017-05-10公开/公告号CN106637135A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人沈阳拓荆科技有限公司申请人地址
辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人沈阳拓荆科技有限公司当前权利人沈阳拓荆科技有限公司
发明人张建;吴凤丽;吕光泉;苏欣;郑英杰
代理机构沈阳维特专利商标事务所(普通合伙)代理人李绪岩
摘要
一种新的气相沉积控制元件的模块化安装方法,采用了通长的豁口,里面下入方形的螺纹块,在上面的元件安装好后,再把之字板把合固定住。每条工艺模块安装适合后,在把两条模块固定在基板上,最后把基板固定在基座上,即完成了整个模块的安装。本发明的有益效果及特点结构合理,操作简单、方便,可在任意位置安装和固定元件,可实现傻瓜式的安装方式。在各个元件连接过程中,省去了为了按照孔位安装费力的寻找螺孔。在全部都安装好后,在把模块基座和基板上的螺钉旋紧固定,即完成了模块组合安装。可满足不同元件在同一个模块上安装的要求。

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