感光性组合物、图像形成方法、膜形成方法、树脂、图像以及膜

发明专利有效专利

申请号：
CN202010799908.9
IPC分类号：G03F7/027;G03F7/004;C09D11/30;C09D11/101;G03F7/20
申请日期：
2016-08-24
申请人：
富士胶片株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	感光性组合物、图像形成方法、膜形成方法、树脂、图像以及膜
申请号	CN202010799908.9	申请日期	2016-08-24
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-11-03	公开/公告号	CN111880372A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/027 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕 G03F7/027 具有碳—碳双键的非高分子的可光聚合的化合物，例如，乙烯化合物（G03F 7/075优先）〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;2;7;;;G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;C;0;9;D;1;1;/;3;0;;;C;0;9;D;1;1;/;1;0;1;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	富士胶片株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	富士胶片株式会社	当前权利人	富士胶片株式会社
发明人	佐藤宪晃;铃木昭太;泽村泰弘;S·斯莱特
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	暂无

摘要

本发明提供一种感光性组合物、图像形成方法、膜形成方法、树脂、图像以及膜，所述感光性组合物含有树脂，包含以式(1)或式(2)所表示的结构单元A和以式(3)、式(4)或式(5)所表示的结构单元B；以及自由基聚合性单体。R11、R21、R31、R41及R51表示H或烃基，R12～R14及R22～R24表示烃基、H或OH基等，R42、R43、R52及R53表示H或烃基等，L1～L3表示单键或连接基，X1表示‑O‑或‑NR15‑，X2表示‑O‑或‑NR25‑，R1h5及R25表示H或烃基，Cy1表示可以含有O的包含环状结构的烃基，

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