检查装置及检查方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202080024982.1
IPC分类号：H01L21/66;G01N21/64;H01L33/00
申请日期：
2020-01-29
申请人：
浜松光子学株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	检查装置及检查方法
申请号	CN202080024982.1	申请日期	2020-01-29
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-12	公开/公告号	CN113646877A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/66 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/66 在制造或处理过程中的测试或测量〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;G;0;1;N;2;1;/;6;4;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人	浜松光子学株式会社	申请人地址	日本静冈县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浜松光子学株式会社	当前权利人	浜松光子学株式会社
发明人	中村共则;池村贤一郎;大高章弘
代理机构	北京尚诚知识产权代理有限公司	代理人	杨琦

摘要

检查装置是对形成有多个发光元件的样品进行检查的检查装置，具备：激发光源，其产生照射至样品的激发光；分色镜，其将来自样品的荧光通过根据波长使其透过或反射而分离；相机，其对经分色镜反射的荧光进行摄像；相机，其对透过分色镜的荧光进行摄像；及控制装置，其基于由相机所取得的第1荧光图像、与由相机所取得的第2荧光图像导出发光元件的色斑信息；分色镜中的透过率及反射率根据波长的变化而变化的波段的宽度即边缘移变宽度，较发光元件的正常荧光光谱的半峰全宽更宽。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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