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一种化学气相沉积反应器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610805996.2
  • IPC分类号:C23C16/32;C23C16/458
  • 申请日期:
    2016-09-05
  • 申请人:
    江苏协鑫特种材料科技有限公司;江苏鑫华半导体材料科技有限公司
著录项信息
专利名称一种化学气相沉积反应器
申请号CN201610805996.2申请日期2016-09-05
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-12-07公开/公告号CN106191808A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/32IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;3;2;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;8查看分类表>
申请人江苏协鑫特种材料科技有限公司;江苏鑫华半导体材料科技有限公司申请人地址
江苏省徐州市鼓楼区经济技术开发区杨山路66号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏协鑫特种材料科技有限公司,江苏鑫华半导体材料科技有限公司当前权利人江苏协鑫特种材料科技有限公司,江苏鑫华半导体材料科技有限公司
发明人于伟华;田新;张春伟;江扣龙;王彬
代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)代理人肖明芳
摘要
本发明提供了一种化学气相沉积反应器,包括反应器壳体和反应器壳体内部的内胆,所述内胆和壳体之间设有加热装置,反应器壳体的底部为底盘,底盘上设有支架,支架上设有托架,反应器壳体的底部设有进气装置,反应器壳体的顶部设有排气装置。所述加热装置和反应器壳体之间设有隔热部件。所述底盘中部设有转动盘,转动盘上端连接到支架,转动盘下端连接转动部件。所述进气装置包括设置在底盘上的反应气体进口和稀释气体进口。

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