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作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物的应用

发明专利有效专利

申请号：
CN201210069130.1
IPC分类号：C23F11/173
申请日期：
2008-03-03
申请人：
盟智科技股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物的应用
申请号	CN201210069130.1	申请日期	2008-03-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-25	公开/公告号	CN102605375A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F11/173 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F11/00 通过给有腐蚀危险的表面上施加抑制剂或在腐蚀剂中加入抑制剂来抑制金属材料的腐蚀 C23F11/08 在其他液体中 C23F11/10 用有机的缓蚀剂 C23F11/173 高分子化合物〔4〕	IPC分类号	C;2;3;F;1;1;/;1;7;3查看分类表>
申请人	盟智科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾桃园县中坜市东园路33号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	盟智科技股份有限公司	当前权利人	盟智科技股份有限公司
发明人	张松源
代理机构	北京申翔知识产权代理有限公司	代理人	艾晶;周春发

摘要

本发明中作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物为肌胺酸及其盐类化合物，该腐蚀抑制剂用于化学机械研磨组成物，可于化学机械研磨时于加工对象的表面形成一层保护膜，以避免加工对象受到腐蚀，亦可改良因使用习有腐蚀抑制剂(例如苯并三唑；BTA)，而于加工对象表面形成残渣的缺失。本发明最能显示发明特征的化学式：式一式二式三式四

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