二维纳米柔性运动平台及其光栅测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710455030.5
IPC分类号：G01B11/02;G01B11/00
申请日期：
2017-06-16
申请人：
清华大学

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著录项信息

专利名称	二维纳米柔性运动平台及其光栅测量方法
申请号	CN201710455030.5	申请日期	2017-06-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-11-07	公开/公告号	CN107328366A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区清华园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	张震;杨晓东;崔梦嘉;闫鹏
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	黄德海

摘要

本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台及其光栅测量方法，所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；X向连接杆和Y向连接杆；两个X向柔性导向件；两个Y向柔性导向件；两个X向柔性解耦件；两个Y向柔性解耦件；X向驱动器和Y向驱动器；X向光栅传感器；Y向光栅传感器。根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台具有精度高、成本低和安装使用方便等优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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