电介质膜、压电元件、液体喷头及其制造方法、液体喷射装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200610066947.8
IPC分类号：B05D1/02;B05D3/00;B05D7/00;H01L41/24
申请日期：
2006-03-30
申请人：
精工爱普生株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	电介质膜、压电元件、液体喷头及其制造方法、液体喷射装置
申请号	CN200610066947.8	申请日期	2006-03-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-10-04	公开/公告号	CN1840244
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05D1/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05D 对表面涂布液体或其他流体的一般工艺（输送通过液浴的节或工件入B65G，如B65G 49/02）〔2〕 B05D1/00 涂布液体或其他流体的工艺（B05D 5/00，B05D 7/00优先）〔2〕 B05D1/02 用喷射方法〔2〕	IPC分类号	B;0;5;D;1;/;0;2;;;B;0;5;D;3;/;0;0;;;B;0;5;D;7;/;0;0;;;H;0;1;L;4;1;/;2;4查看分类表>
申请人	精工爱普生株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	栗城彰;角浩二;风间宏信;高部本规;野口元久
代理机构	北京东方亿思知识产权代理有限责任公司	代理人	柳春雷

摘要

本发明提供一种能够较容易地控制结晶状态并可始终获得稳定特性的电介质膜的制造方法，以及可提高压电元件特性的压电元件的制造方法。该方法包括：涂布含有金属有机化合物的胶体溶液来形成介电前驱体膜的涂布工序，金属有机化合物含有构成电介质膜的金属，电介质膜至少含有铅成分；对介电前驱体膜进行干燥的干燥工序；对介电前驱体膜进行脱脂的脱脂工序；煅烧介电前驱体膜以形成电介质膜的煅烧工序；干燥工序具有：将介电前驱体膜加热到低于材料主溶媒的溶剂沸点的温度并保持一定时间以使其干燥的第一干燥工序；在140℃～170℃的范围内干燥介电前驱体膜的第二干燥工序；脱脂工序使脱脂的温度为350℃～450℃，使升温率为15[℃/sec]以上，煅烧工序使升温率为100[℃/sec]～150[℃/sec]。

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