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一种靶材组件中间层的清洗方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110783556.2
  • IPC分类号:B08B3/12;B08B3/10;B08B3/08;B08B3/04;F26B5/00;F26B5/04;F26B21/14
  • 申请日期:
    2021-07-12
  • 申请人:
    宁波江丰电子材料股份有限公司
著录项信息
专利名称一种靶材组件中间层的清洗方法
申请号CN202110783556.2申请日期2021-07-12
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-10-15公开/公告号CN113500045A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B3/12IPC分类号B;0;8;B;3;/;1;2;;;B;0;8;B;3;/;1;0;;;B;0;8;B;3;/;0;8;;;B;0;8;B;3;/;0;4;;;F;2;6;B;5;/;0;0;;;F;2;6;B;5;/;0;4;;;F;2;6;B;2;1;/;1;4查看分类表>
申请人宁波江丰电子材料股份有限公司申请人地址
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁波江丰电子材料股份有限公司当前权利人宁波江丰电子材料股份有限公司
发明人姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;侯宇
代理机构北京远智汇知识产权代理有限公司代理人王岩
摘要
本发明提供了一种靶材组件中间层的清洗方法,所述清洗方法包括以下步骤:将待清洗中间层依次采用有机溶剂和水进行超声波清洗;将处理后的中间层进行鼓泡酸洗;再将处理后的中间层再次进行超声波水洗,干燥后得到清洗后的靶材组件中间层。本发明所述方法根据中间层的材质及表面污渍,依次采用超声波清洗、鼓泡酸洗以及超声波水洗的操作,将中间层表面的杂质、脏污、油污以及氧化层等充分去除,清洗后中间层的纯度较高,保证其用于扩散焊接时焊接面的致密性及均匀性,提高靶材组件的焊接强度;所述方法操作简单,清洗成本较低,产生废液量较少,适用范围广。

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