目标缺陷检测方法及装置、系统、电子设备和存储介质

发明专利有效专利

申请号：
CN202110176686.X
IPC分类号：G06T7/00;G06T7/13
申请日期：
2021-02-09
申请人：
上海众壹云计算科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	目标缺陷检测方法及装置、系统、电子设备和存储介质
申请号	CN202110176686.X	申请日期	2021-02-09
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2021-05-18	公开/公告号	CN112819799A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06T7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06T 一般的图像数据处理或产生〔6，2006.01〕 G06T7/00 图像分析〔6，2006.01，2017.01〕	IPC分类号	G;0;6;T;7;/;0;0;;;G;0;6;T;7;/;1;3查看分类表>
申请人	上海众壹云计算科技有限公司	申请人地址	上海市静安区江场三路238号1217室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海众壹云计算科技有限公司	当前权利人	上海众壹云计算科技有限公司
发明人	沈剑;刘迪;唐磊;胡逸群;陈建东
代理机构	重庆恩洲知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	兰渝宏;熊传亚

摘要

本发明涉及一种晶圆上目标缺陷的检测方法，其通过对待检测缺陷图像进行边缘提取，得到至少一个待识别目标的边缘图形，并将该边缘图形与数据库中预存的参考图形进行匹配，若匹配不成功，则将该待识别目标判定为晶圆缺陷。即本发明只需要对晶圆缺陷图像进行边缘提取之后，即可进行晶圆缺陷的识别，无需人工筛查，提高了检测效率；并且，进行晶圆缺陷识别时，无需提供对比模板图像，自然也就无需对两个图像进行处理，降低了计算机的计算量，提高了计算机的计算效率。相应地，本发明还提供了一种目标缺陷的检测装置及系统、电子设备和计算机可读存储介质。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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