一种硅基红外测温滤光片及制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011510948.3
IPC分类号：G02B5/20;G01J5/08;C23C14/16;C23C14/08;C23C14/06;C23C14/02
申请日期：
2020-12-18
申请人：
洛阳鼎铭光电科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种硅基红外测温滤光片及制备方法
申请号	CN202011510948.3	申请日期	2020-12-18
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-03-16	公开/公告号	CN112505812A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B5/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B5/00 除透镜外的光学元件（光波导入G02B 6/00；光学逻辑元件入G02F 3/00）〔4〕 G02B5/20 滤光片（偏振元件入G02B 5/30；特别用于摄影目的滤光片入G03B 11/00）	IPC分类号	G;0;2;B;5;/;2;0;;;G;0;1;J;5;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;1;6;;;C;2;3;C;1;4;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;0;2查看分类表>
申请人	洛阳鼎铭光电科技有限公司	申请人地址	河南省洛阳市西工区洛阳工业园区道北二路南侧变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	洛阳鼎铭光电科技有限公司	当前权利人	洛阳鼎铭光电科技有限公司
发明人	李晓飞;李瑞博
代理机构	郑州银河专利代理有限公司	代理人	裴景阳

摘要

本发明涉及一种硅基红外测温滤光片，包括单晶硅基底、长波通膜系结构及短波通膜系结构，其中单晶硅基底为横断面呈矩形的板状结构，长波通膜系结构包覆在单晶硅基底上端面，短波通膜系结构包覆在单晶硅基底下端面，且长波通膜系结构及短波通膜系结构的厚度均不大于1毫米，且长波通膜系结构及短波通膜系结构总厚度为单晶硅基底。其制备方法包括夹持定位，单晶硅基底预热，离子轰击，气象沉积及出炉保存等五个步骤。本发明较传统的滤光片，一方面可以实现了传统滤光片实现不了的宽波段、高精度的温度测量；另一方面生产加工工艺简单，易实现规模化、批量化作业，同时另可提高镀膜层与基板间连接关系的稳定性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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