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MEMS致动系统和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201780068620.0
IPC分类号：G02B27/64;B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00;H02N2/02;H01L41/09;H04N5/225
申请日期：
2017-09-08
申请人：
麦斯卓微有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	MEMS致动系统和方法
申请号	CN201780068620.0	申请日期	2017-09-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-09-27	公开/公告号	CN110291434A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B27/64 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B27/00 其他光学系统；其他光学仪器（使商店橱窗或陈列柜产生特别光学效果的装置入A47F，例如，A47F 11/06；光学玩具入A63H 33/22；以具有特殊光学效果为特征的设计或图样入B44F 1/00） G02B27/64 利用稳定像的横向和斜向位置的光学元件的成像系统（聚焦系统入G02B 7/04；相对于成像面或物面的光学系统的调节入G03B 5/00）〔3〕	IPC分类号	G;0;2;B;2;7;/;6;4;;;B;8;1;B;7;/;0;2;;;B;8;1;B;7;/;0;0;;;B;8;1;C;1;/;0;0;;;H;0;2;N;2;/;0;2;;;H;0;1;L;4;1;/;0;9;;;H;0;4;N;5;/;2;2;5查看分类表>
申请人	麦斯卓微有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	麦斯卓有限公司	当前权利人	麦斯卓有限公司
发明人	M·伍;刘晓蕾;王桂芹
代理机构	北京高文律师事务所	代理人	王冬;赵锐

摘要

微机电系统(MEMS)器件包括一个或多个可滑动连接组件，用于可释放地将微机电系统(MEMS)器件连接到制造微机电系统(MEMS)器件的晶片。

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