卫星式真空薄膜沉积系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201910160232.6
IPC分类号：C23C14/56;C23C14/35;C23C14/24
申请日期：
2019-03-04
申请人：
苏州华杨赛斯真空设备有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	卫星式真空薄膜沉积系统
申请号	CN201910160232.6	申请日期	2019-03-04
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2019-05-24	公开/公告号	CN109797373A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/56 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/56 连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人	苏州华杨赛斯真空设备有限公司	申请人地址	江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼110E室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州华杨科学仪器有限公司	当前权利人	苏州华杨科学仪器有限公司
发明人	张宏;张冬;马志博
代理机构	南京苏科专利代理有限责任公司	代理人	姚姣阳

摘要

本发明揭示了一种卫星式真空薄膜沉积系统，由多个操作腔室管路连接组成，所述操作腔室包括一个中转室、两个共蒸发沉积室、三个磁控溅射室以及一个储样室，每个所述操作腔室均配备有用于维持腔体真空度的真空泵组，所述中转室位于整个系统的中心位置、其他所述操作腔室等距环绕设置于所述中转室的外周位置，其他所述操作腔室均分别与所述中转室管路连接、并采用闸板阀进行分隔，系统内还设置有样品传递机构，加工样品在所述样品传递机构的作用下、在各操作腔室间传递。本发明实现了在一套系统中实现在衬底上制得多种不同外延薄膜的技术效果，降低了样品在不同设备间转移制备的实验成本及时间成本，显著地提升了制备效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供