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紫外线照射装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010142699.7
  • IPC分类号:H01L21/301
  • 申请日期:
    2010-03-18
  • 申请人:
    株式会社迪思科
著录项信息
专利名称紫外线照射装置
申请号CN201010142699.7申请日期2010-03-18
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2010-09-22公开/公告号CN101840855A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/301IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;1查看分类表>
申请人株式会社迪思科申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社迪思科当前权利人株式会社迪思科
发明人久我卓也
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人黄纶伟
摘要
本发明提供不会使搬运复杂化、且不破坏板状物和切削刀片地照射紫外线的紫外线照射装置。其向紫外线固化型载带上贴附着板状物的板状物单元照射紫外线,使载带的粘结剂固化,该载带的外周部安装于环状框架,具有:能收纳多个板状物单元的匣盒;支撑板状物单元的支撑部;从板状物单元的板状物贴附面的反面向载带照射紫外线的紫外线照射单元;将板状物单元从匣盒搬到支撑部,照射紫外线后从支撑部搬入板状物单元的搬运单元;具有允许紫外线通过的期望大小的开口部,在开口部以外遮蔽紫外线的掩模;将掩模在板状物单元及紫外线照射单元间选择性定位的定位单元,掩模定位于板状物单元与紫外线照射单元间时,紫外线照射单元经由开口部向载带照射紫外线。

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