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一种化学气相沉积炉

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810494549.9
  • IPC分类号:C23C16/44;C23C16/455
  • 申请日期:
    2018-05-22
  • 申请人:
    滁州华海中谊工业炉有限公司
著录项信息
专利名称一种化学气相沉积炉
申请号CN201810494549.9申请日期2018-05-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-09-25公开/公告号CN108570658A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/44IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;5查看分类表>
申请人滁州华海中谊工业炉有限公司申请人地址
安徽省滁州市南谯区南谯工业开发区乌衣园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人滁州华海中谊工业炉有限公司当前权利人滁州华海中谊工业炉有限公司
发明人赵成军
代理机构南京众联专利代理有限公司代理人周蔚然
摘要
本发明公开了一种化学气相沉积炉,包括炉体,炉体一侧设有炉门,另一侧设有出气罩,出气罩连接出气管;炉体内由左至右依次设有进气管、进气挡板、导流板组件、沉积室;导流板组件包括对称设置的上导流板组件、下导流板组件;沉积室包括左室板、右室板、横网格板、侧室筒,左室板与右室板之间设有横网格板,横网格板与左室板垂直设置;左室板和右室板被横网格板分隔为上下两部分,左室板的上部设有通孔、右室板的下部设有通孔或左室板的下部设有通孔、右室板的上部设有通孔;侧室筒外侧设有加热器。本发明合理的加热组件的设置及沉积组件的设置,均匀的分布气流,形成厚度一致的覆膜,加工后的产品覆膜厚度一致,成品率高。

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