承载装置及检测设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202121353906.3
IPC分类号：G01R31/26;G01R1/04
申请日期：
2021-06-17
申请人：
深圳中科飞测科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	承载装置及检测设备
申请号	CN202121353906.3	申请日期	2021-06-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/26 单个半导体器件的测试（在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66；光伏器件的测试入H02S 50/10）〔2，2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;6;;;G;0;1;R;1;/;0;4查看分类表>
申请人	深圳中科飞测科技股份有限公司	申请人地址	广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳中科飞测科技股份有限公司	当前权利人	深圳中科飞测科技股份有限公司
发明人	陈鲁;金建高;张鹏斌;张嵩
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	邵泳城

摘要

本申请提供一种承载装置及检测设备。承载装置包括基座、承载件及定位组件。基座包括相背的第一侧与第二侧，基座设有贯穿第一侧与第二侧的通孔，第一侧设有与通孔间隔的吸附槽。承载件设有承载面及与承载面相背的贴合面，承载面设有吸附孔，吸附孔用于将工件吸附于承载面，贴合面与第一侧的上表面配合并密封吸附槽，承载件还设有配合件。定位组件包括定位件，定位件与配合件配合，以对承载件进行定位。本申请的承载装置中，通过定位组件的定位及吸附槽的真空吸附将承载件精确地固定于基座，以便于快速更换不同的承载件，提高检测设备的工作效率，并满足一台检测设备兼容多种类型的承载件的需求，使得检测设备能够检测不同类型的工件。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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