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用于提高叠层过程的控制和效率的方法、材料和设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201380048356.6
  • IPC分类号:C23C28/00
  • 申请日期:
    2013-09-12
  • 申请人:
    伊士曼化工公司
著录项信息
专利名称用于提高叠层过程的控制和效率的方法、材料和设备
申请号CN201380048356.6申请日期2013-09-12
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-06-10公开/公告号CN104704145A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C28/00IPC分类号C;2;3;C;2;8;/;0;0查看分类表>
申请人伊士曼化工公司申请人地址
美国田纳西州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人伊士曼化工公司当前权利人伊士曼化工公司
发明人托马斯·沃克曼;J·华莱士·帕斯;本杰明·王;凯文·克罗格曼;塞格林德·施密德;梅利莎·法迪;托马斯·方;威廉·E·贾维斯
代理机构北京万慧达知识产权代理有限公司代理人白华胜;段晓玲
摘要
本公开文本提供了用于以高度的效率和控制来制造多层涂层的材料、设备和方法。在一些方面,例如,描述的涂层具有纳米颗粒和聚合电解质的多个层,其中纳米颗粒形成紧密堆积的单层。单层之间的界面可以包含聚合电解质材料。该单层和界面的一方面或多方面是可控的。

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