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一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202021014837.9
  • IPC分类号:F17C5/00;F24H3/04
  • 申请日期:
    2020-06-05
  • 申请人:
    上海盛韬半导体科技有限公司
著录项信息
专利名称一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备
申请号CN202021014837.9申请日期2020-06-05
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F17C5/00IPC分类号F;1;7;C;5;/;0;0;;;F;2;4;H;3;/;0;4查看分类表>
申请人上海盛韬半导体科技有限公司申请人地址
上海市浦东新区秀浦路3999弄30号B区一楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海盛韬半导体科技有限公司当前权利人上海盛韬半导体科技有限公司
发明人甘万;杨欣;江福荣
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种用于特殊气体钢瓶预处理的烘箱设备,包括:操作单元、烘箱单元、控制显示操作单元、声光报警器和急停按钮,操作单元与烘箱单元外部连接,控制显示操作单元与烘箱单元连接,声光报警器和急停按钮与控制显示操作单元表面连接。其中,操作单元包括:架子、氦气入口阀、氦气手动阀、氦气备用阀、吹扫气备用阀、吹扫气一级手阀、吹扫气一级调压阀、吹扫气二级手阀、吹扫气二级调压阀、吹扫气气动阀、分析口阀、管路阀、压力表、压力传感器、真空计、排放气动阀、抽真空气动阀、支路排放气动阀、抽真空阀、真空电磁阀、泵、仪表气入口阀、仪表气备用阀和仪表气调压阀。本实用新型与传统技术相比,配件系统化集成,避免人为引起的设备和人身损害。

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