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一种电子加速器的束流品质测量装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201721859950.5
  • IPC分类号:G01T1/29
  • 申请日期:
    2017-12-26
  • 申请人:
    中山易必固新材料科技有限公司
著录项信息
专利名称一种电子加速器的束流品质测量装置
申请号CN201721859950.5申请日期2017-12-26
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01T1/29IPC分类号G;0;1;T;1;/;2;9查看分类表>
申请人中山易必固新材料科技有限公司申请人地址
广东省中山市火炬开发区祥兴路6号数贸大厦北翼5层507/508/509 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中山易必固电子束科技有限公司当前权利人中山易必固电子束科技有限公司
发明人任杰;陈立
代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种电子加速器的束流品质测量装置,包括法拉第筒检测装置及在线束流流强探测装置,所述法拉第筒检测装置包括网状框架、设置在网状框架上的钛箔、设置在网状框架下方的狭缝状法拉第筒及与狭缝状法拉第筒连接的数据采集系统,在线束流流强探测装置包括一探测器及能够带动探测器移动穿过电子束穿过区域的驱动装置,驱动装置能够将探测器的位置信息反馈至数据采集系统,所述探测器能够检测到的电子束的流强线密度并反馈至数据采集系统。本实用新型可通过法拉第筒检测装置及在线束流流强探测装置分别完成束流流强测量检测和在线束流分布测量,可以测量束流的分布情况、真实引出流强大小、以及引出效率,具高的通用性。

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