一种管状大容积等离子体聚合涂层装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201610790675.X
IPC分类号：B05D1/00;C23C16/50
申请日期：
2016-08-30
申请人：
无锡荣坚五金工具有限公司

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专利名称	一种管状大容积等离子体聚合涂层装置
申请号	CN201610790675.X	申请日期	2016-08-30
法律状态	撤回	申报国家	暂无
公开/公告日	2016-12-14	公开/公告号	CN106216192A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05D1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05D 对表面涂布液体或其他流体的一般工艺（输送通过液浴的节或工件入B65G，如B65G 49/02）〔2〕 B05D1/00 涂布液体或其他流体的工艺（B05D 5/00，B05D 7/00优先）〔2〕	IPC分类号	B;0;5;D;1;/;0;0;;;C;2;3;C;1;6;/;5;0查看分类表>
申请人	无锡荣坚五金工具有限公司	申请人地址	江苏省无锡市惠山区玉祁镇玉祁工业园东环路变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡荣坚五金工具有限公司	当前权利人	无锡荣坚五金工具有限公司
发明人	宗坚
代理机构	大连理工大学专利中心	代理人	梅洪玉

摘要

一种管状大容积等离子体聚合涂层装置，属于等离子体技术领域，用于在基材表面制备聚合物涂层。其特征是，真空室为管状，内壁上安装电极和导轨，其中电极为柱面形，位于与真空室同轴的柱面上，分开为左右两部分，留出中间的空隙安装导轨，治具安装在导轨上，与真空室同轴，用来装载待处理的基材，治具能够沿导轨移入和移出真空室，真空室的顶部沿轴向间隔设置一个载体气体管路的出口和一个单体蒸汽管路的出口，真空室的底部沿轴向间隔设置一个真空排气管路的入口，真空室的两端安装真空室门，供治具送入和取出。本发明的装置具有真空室的容积大，等离子体的均匀性好，处理批量大，处理成本低，批处理产品质量均一性良好等优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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