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一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201710086055.2
  • IPC分类号:C01B23/00
  • 申请日期:
    2017-02-17
  • 申请人:
    安徽万瑞冷电科技有限公司
著录项信息
专利名称一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块
申请号CN201710086055.2申请日期2017-02-17
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2017-05-31公开/公告号CN106744751A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C01B23/00IPC分类号C;0;1;B;2;3;/;0;0查看分类表>
申请人安徽万瑞冷电科技有限公司申请人地址
安徽省合肥市高新区海棠路189号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人安徽万瑞冷电科技有限公司当前权利人安徽万瑞冷电科技有限公司
发明人刘朝明;鲁骥;黄卫
代理机构安徽中天恒律师事务所代理人朱娅娟
摘要
本发明公开了一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块,所述检漏仪包括检漏模块和氦气纯化模块,所述氦气纯化模块的出气端与检漏模块的进气端通过管道连接,所述氦气纯化模块的进气端与检漏模块的出气端通过管道连接,所述氦气纯化模块包括进气端与检漏模块的出气端连接的第一缓冲罐、进气端与第一缓冲罐的出气端通过第一管道连通的第一纯化装置,所述第一纯化装置的出纯气端根据其排出的氦气纯度选择性地与检漏模块的进气端或者第一缓冲罐的进气端连通。该氦气纯化模块属于检漏仪的一部分,结构紧凑,占地面积小。

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