一种微辐射探测器的微桥结构及其阵列

发明专利有效专利

申请号：
CN201510999413.X
IPC分类号：B81B7/00;B81B7/04;G01J5/02
申请日期：
2015-12-28
申请人：
上海集成电路研发中心有限公司

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专利名称	一种微辐射探测器的微桥结构及其阵列
申请号	CN201510999413.X	申请日期	2015-12-28
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日	2016-05-11	公开/公告号	CN105565249A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81B7/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81B 微观结构的装置或系统，例如微观机械装置（压电元件、电致伸缩元件或磁致伸缩元件本身入H01L41/00）〔7〕 B81B7/00 微观结构系统〔7，2006.01〕	IPC分类号	B;8;1;B;7;/;0;0;;;B;8;1;B;7;/;0;4;;;G;0;1;J;5;/;0;2查看分类表>
申请人	上海集成电路研发中心有限公司	申请人地址	上海市浦东新区上海浦东张江高斯路497号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海集成电路研发中心有限公司	当前权利人	上海集成电路研发中心有限公司
发明人	袁超
代理机构	上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	吴世华;尹英

摘要

本发明属于半导体技术中的微电子机械系统领域，公开了一种微辐射探测器的微桥结构及其阵列，其包括半导体衬底、桥面、梁以及支撑柱，其中，桥面悬空设置在半导体衬底上，四个梁分别从桥面的边角处引出，四个支撑柱均架设在半导体衬底上，并通过梁与桥面连接。本发明提供了一种微辐射探测器的微桥结构及其阵列，与传统结构相比，现有的微桥结构由于提供了四个支撑柱和梁，使得像元整体结构更加平衡，增加了工艺窗口；采用共享支撑柱形成阵列时，一个最小周期单元仅含有一个支撑柱，具有较高的填充率，能保证桥面最大限度的接收红外光，在获得极佳的结构稳固性的同时，保证了微辐射探测器具有较高的灵敏度和信噪比。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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