表面形貌抗振干涉测量系统

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201320584176.7
IPC分类号：G01B11/30
申请日期：
2013-09-22
申请人：
浙江大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	表面形貌抗振干涉测量系统
申请号	CN201320584176.7	申请日期	2013-09-22
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/30 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/30 用于计量表面的粗糙度和不规则性	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市西湖区浙大路38号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	曹衍龙;吴紫涧;管佳燕;徐朋;李博;张哲嘉;吴涛;周威杰;叶雪峰;赵奎
代理机构	浙江杭州金通专利事务所有限公司	代理人	黄芳;赵芳

摘要

表面形貌抗振干涉测量系统，包括白光光源，声光可调滤光器，第一分光镜，第二分光镜，测量模块和补偿模块；声光可调滤光器依次与驱动器，单片机扫频模块和声光可调滤光器与DSP模块控制单元连接，单片机扫频模块由声光可调滤光器与DSP模块控制单元触发；测量模块包括CCD相机和计算机，测量模块工作时单片机扫频模块采用低速扫频模式，声光可调滤光器与DSP模块控制单元受控于计算机；补偿模块包括光电探测器，DSP控制模块和压电陶瓷，补偿模块工作时单片机扫频模块采用高速扫频模式。本实用新型具有只需使用一个光源即可实现振动补偿的，能够实现在线测量，结构简单、价格低廉的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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