加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

高精度扫描隧道显微镜的镜体

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN02221502.6
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2002-01-31
  • 申请人:
    重庆大学
著录项信息
专利名称高精度扫描隧道显微镜的镜体
申请号CN02221502.6申请日期2002-01-31
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人重庆大学申请人地址
重庆市沙坪坝区沙坪坝正街174号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人重庆大学当前权利人重庆大学
发明人杨学恒;詹捷;杨嘉楷;陈安;王银峰;吴世春
代理机构重庆大学专利中心代理人余虹桥
摘要
高精度扫描隧道显微镜的镜体涉及物体不规则表面及轮廓的纳米测量装置,它主要解决定点测量与加工、延伸测量与加工范围的问题,解决的方案是让工作台在水平方向作二维运动,工作台的位移由两个电动进给机构控制,其水平纵向位移的精度为每步距10纳米,其水平横向位移的精度为每步距50到100纳米,工作台的坐标由位置检测器测知,位置检测的精度为2到10纳米,它们驱动工作台把样品待测点送到测针下,以此实现对样品的定点测量与加工和延伸测量与加工范围的问题,它延伸测量与加工的范围为25×25平方毫米或更大,它主要应用在纳米测量与纳米加工方面。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供