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半导体结构及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210432008.6
  • IPC分类号:H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/06
  • 申请日期:
    2012-11-02
  • 申请人:
    中国科学院微电子研究所
著录项信息
专利名称半导体结构及其制造方法
申请号CN201210432008.6申请日期2012-11-02
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-05-14公开/公告号CN103794560A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;7;/;0;9;2;;;H;0;1;L;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人中国科学院微电子研究所申请人地址
北京市朝阳区北土城西路3号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院微电子研究所当前权利人中国科学院微电子研究所
发明人朱慧珑;骆志炯;尹海洲
代理机构北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙)代理人朱海波;何平
摘要
本发明提供了一种半导体结构,包括衬底(130)、支撑结构(131)、基底区(100)、栅堆叠、侧墙(240)以及源/漏区,其中,所述栅堆叠位于所述基底区(100)之上,所述基底区(100)由支撑结构(131)支撑于所述衬底(130)之上,其中:所述支撑结构(131)的侧壁截面为∑形;在所述基底区(100)两侧边缘下方存在隔离结构(123),其中,部分所述隔离结构(123)与所述衬底(130)相连接;在所述隔离结构(123)和所述支撑结构(131)之间存在空腔(112);以及至少在所述基底区(100)和隔离结构(123)的两侧存在源/漏区。相应地,本发明还提供了该半导体结构的制造方法。

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