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集成电路器件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010596850.8
  • IPC分类号:H01L27/108
  • 申请日期:
    2020-06-28
  • 申请人:
    三星电子株式会社
著录项信息
专利名称集成电路器件
申请号CN202010596850.8申请日期2020-06-28
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-03-19公开/公告号CN112530948A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/108IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;1;0;8查看分类表>
申请人三星电子株式会社申请人地址
韩国京畿道水原市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星电子株式会社当前权利人三星电子株式会社
发明人金东佑;权赫宇;秋成旼;崔炳德
代理机构北京铭硕知识产权代理有限公司代理人尹淑梅;张川绪
摘要
提供集成电路器件。集成电路器件包括:下电极,形成在基底上;以及上支撑结构,围绕下电极设置并支撑下电极。上支撑结构包括:上支撑图案,围绕下电极并沿平行于基底的横向方向延伸,上支撑图案具有下电极所穿过的孔;以及上间隔件支撑图案,位于上支撑图案与孔内部的下电极之间并具有与上支撑图案接触的外侧壁和与下电极接触的内侧壁,其中,上间隔件支撑图案在横向方向上的宽度沿朝向基底的方向减小。

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