MEMS陀螺仪

发明专利有效专利

申请号：
CN202011490577.7
IPC分类号：G01C19/5712
申请日期：
2020-12-16
申请人：
瑞声科技（南京）有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	MEMS陀螺仪
申请号	CN202011490577.7	申请日期	2020-12-16
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-04-27	公开/公告号	CN112710293A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01C19/5712 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01C 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学（液体水平面的测量入G01F；无线电导航，通过利用无线电波的传播效应，例如多普勒效应，传播时间来测定距离或速度，利用其他波的类似装置入G01S） G01C19/00 陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率〔1，2013.01〕 G01C19/56 使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器〔1，2012.01〕 G01C19/5705 使用被驱动做绕轴往复旋转运动的部件〔2012.01〕 G01C19/5712 包含微机械结构的设备〔2012.01〕	IPC分类号	G;0;1;C;1;9;/;5;7;1;2查看分类表>
申请人	瑞声科技（南京）有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司	申请人地址	江苏省南京市栖霞区仙林大学城元化路南大科学园新兴产业孵化基地研发楼8层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	瑞声科技（南京）有限公司,瑞声声学科技（深圳）有限公司	当前权利人	瑞声科技（南京）有限公司,瑞声声学科技（深圳）有限公司
发明人	占瞻;马昭;阚枭;杨珊;李杨;谭秋喻;洪燕;黎家健
代理机构	深圳市恒申知识产权事务所（普通合伙）	代理人	赵胜宝

摘要

本发明提供了一种MEMS陀螺仪，包括环形结构以及绕环形结构的中心圆周均匀分布并经第一连接部与环形结构内侧或外侧连接的多个质量块；相邻两个质量块之间通过第二连接部连接，质量块通过弹性结构连接锚点，环形结构为正4N角星，质量块的数量为4N个，其中，N为整数，且N≥2。本发明的MEMS陀螺仪采用多段直线构型的星形，直线构型使星形的边内呈现统一的杨氏模量，最终提升了星形结构的杨氏模量均匀性，可以更好地发挥星形轴对称结构振动的各项同性特点，驱动模态与检测模态具有更小的频率差，拥有更高的灵敏度。而且参与角速度敏感的质量块布满MEMS陀螺仪的非敏感限制区域，可拥有更大的哥氏力，极大提升了芯片的面积使用率，增加了传感器的灵敏度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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