一种真空镀膜腔室的气体循环利用系统及镀膜设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120252738.2
IPC分类号：C23C16/54;C23C16/50
申请日期：
2021-01-27
申请人：
宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）

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专利名称	一种真空镀膜腔室的气体循环利用系统及镀膜设备
申请号	CN202120252738.2	申请日期	2021-01-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C16/54 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C16/00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C 14/00）〔4〕 C23C16/44 以镀覆方法为特征的（C23C 16/04优先）〔4〕 C23C16/54 连续镀覆的专用设备〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;6;/;5;4;;;C;2;3;C;1;6;/;5;0查看分类表>
申请人	宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）	申请人地址	安徽省宣城市宣城经济技术开发区青弋江大道宣城科技园B19-1幢变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）	当前权利人	宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）
发明人	不公告发明人
代理机构	北京清大紫荆知识产权代理有限公司	代理人	张奕轩;彭一波

摘要

本实用新型实施例中提供了一种真空镀膜腔室的气体循环利用系统及镀膜设备，所述真空镀膜腔室包括嵌套设置的外腔室和内腔室，所述气体循环利用系统包括：加热组件，设置在所述内腔室内，用于对位于所述内腔室内的待加热件进行加热；以及气体循环组件，与所述外腔室和内腔室连通，用于气体在外腔室和内腔室之间循环和处理。本实用新型所提供的真空镀膜腔室的气体循环利用系统，在加热腔室外侧设置了气体循环组件，使得加热中辅助加热的气体可以循环使用，解决了现有技术中预热过程中辅助加热气体一次性使用所造成的能源的消耗，进而降低了生产成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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