一种全自动硅片清洗机

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201420328201.X
IPC分类号：H01L31/18;H01L21/67;B08B11/00
申请日期：
2014-06-19
申请人：
温州海旭科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种全自动硅片清洗机
申请号	CN201420328201.X	申请日期	2014-06-19
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;B;0;8;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	温州海旭科技有限公司	申请人地址	浙江省温州市经济技术开发区滨海园区滨海十路716号7号楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	温州海旭科技有限公司	当前权利人	温州海旭科技有限公司
发明人	陈德榜
代理机构	温州瓯越专利代理有限公司	代理人	李友福

摘要

本实用新型公开了一种全自动硅片清洗机，包括机体，所述的机体上依次线性排布有酸洗槽、漂洗槽和水洗槽，所述的机体上还设有在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返搬运硅片的硅片搬运装置，所述的硅片搬运装置包括有支撑座、连接臂、搬运勾手、和用于承载硅片的花篮，所述的支撑座装于机体上，并可在所述酸洗槽、漂洗槽和水洗槽之间往返滑动，所述的支撑座上连接有用于驱动其往返滑动的滑动电机和滑动丝杆，所述的连接臂装于支撑座上，并可相对支撑座上下升降，所述的连接臂上连接有用于驱动其上下升降的升降电机和升降丝杆，采用上述结构，本实用新型提供了一种不仅可有效提高生产效率，而且在搬运过程中还不易损坏硅片的全自动硅片清洗机。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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