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二维半导体光伏型偏振探测器及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110524757.0
  • IPC分类号:H01L31/09;H01L31/101;H01L31/032;H01L31/18
  • 申请日期:
    2021-05-13
  • 申请人:
    中国科学院半导体研究所
著录项信息
专利名称二维半导体光伏型偏振探测器及其制备方法
申请号CN202110524757.0申请日期2021-05-13
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-13公开/公告号CN113257941A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/09IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;0;9;;;H;0;1;L;3;1;/;1;0;1;;;H;0;1;L;3;1;/;0;3;2;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人中国科学院半导体研究所申请人地址
北京市海淀区清华东路甲35号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院半导体研究所当前权利人中国科学院半导体研究所
发明人杨珏晗;白瑞雪;魏钟鸣
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人周天宇
摘要
本发明提供了一种ZrGeTe4光伏型偏振探测器及其制备方法,ZrGeTe4光伏型偏振探测器包括:衬底(10);二维ZrGeTe4半导体(11),其形成于所述衬底(10)上,其中,所述二维ZrGeTe4半导体(11)具备面内各向异性;金属电极(12),形成于所述二维ZrGeTe4半导体(11)上。该ZrGeTe4光伏型偏振探测器解决二维半导体偏振探测器使用时暗电流过大的技术问题,实现了在不牺牲二向色性比的条件下实现不加偏压的偏振探测器件,对于资源节约,提高集成度,实现器件柔性化、小型化具有重要意义。

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