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新型热氧化炉

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202121309834.2
  • IPC分类号:B01L7/00;F22B33/18
  • 申请日期:
    2021-06-11
  • 申请人:
    山东强茂电子科技有限公司
著录项信息
专利名称新型热氧化炉
申请号CN202121309834.2申请日期2021-06-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01L7/00IPC分类号B;0;1;L;7;/;0;0;;;F;2;2;B;3;3;/;1;8查看分类表>
申请人山东强茂电子科技有限公司申请人地址
山东省淄博市高新区中润大道186号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人山东强茂电子科技有限公司当前权利人山东强茂电子科技有限公司
发明人方廷宇;游礼仲;许忠信;李庆申;杨士林
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型提供了一种新型热氧化炉,包括圆管体,连接板,其中,圆管体有2个,2个圆管体的轴线相互平行,在2个圆管体之间固定连接有连接板,2个圆管体的轴线均位于连接板所在的平面上,圆管体和连接板均为石英材质。同时,还包括加热套,所述加热套完全包覆在待加热的三口烧瓶外周。本实用新型在炉内增设了类似眼镜结构的适应材料,有效增进了ROD结构的稳定性。同时,采用了全包围结构的加热套,近封闭式加热,保温效果好,且不用以较大功率就可以获得较好的水蒸气生发量,水蒸气供给充足、稳定。

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