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一种硅片镀膜用石墨舟

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910421035.5
  • IPC分类号:H01L21/673;C23C16/54
  • 申请日期:
    2019-05-21
  • 申请人:
    常州时创能源科技有限公司
著录项信息
专利名称一种硅片镀膜用石墨舟
申请号CN201910421035.5申请日期2019-05-21
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2019-07-26公开/公告号CN110060951A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3;;;C;2;3;C;1;6;/;5;4查看分类表>
申请人常州时创能源科技有限公司申请人地址
江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人常州时创能源股份有限公司当前权利人常州时创能源股份有限公司
发明人王博文;孟祥熙
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种硅片镀膜用石墨舟,包括:通过陶瓷棒串接在一起的一排竖置石墨舟片;石墨舟片上设有:可承载单个竖置硅片的卡点组;石墨舟片还设有三个用于安装卡点的条孔;该三个条孔分别贯通石墨舟片的两侧表面,该三个条孔还都沿石墨舟片的横向延伸,且该三个条孔都由石墨舟片的横向一端延伸至横向另一端。本发明硅片镀膜用石墨舟,其卡点与石墨舟片卡接,且可自由设置卡点在对应条孔中的安装位置,既能承载硅片整片,又能承载该硅片整片所分割出的分片。

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