一种掺金属的类金刚石涂层的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710005798.2
IPC分类号：--
申请日期：
2017-01-04
申请人：
西安交通大学

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专利名称	一种掺金属的类金刚石涂层的制备方法
申请号	CN201710005798.2	申请日期	2017-01-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-06-13	公开/公告号	CN106835040A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	西安交通大学	申请人地址	陕西省西安市咸宁西路28号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安交通大学	当前权利人	西安交通大学
发明人	马胜利
代理机构	西安恒泰知识产权代理事务所	代理人	李郑建

摘要

本发明公开了一种掺金属的类金刚石涂层的方法，将预处理后的工件放入ISE‑MS镀膜设备真空室中的转架杆上，以安置在炉体左右内壁上的一对平面金属溅射靶作为相应掺金属的来源，通过调整中频脉冲电源的功率控制平面金属溅射靶的溅射率；将高纯Ar和CH4通过离子源进入真空室，其中，高纯Ar作为主要离化气体，CH4作为反应气体；采用了底层和过渡层设计方法，不但进一步提高涂层结合力，又保证了涂层耐磨和减摩性能的提高。所制备的掺金属的类金刚石涂层，外观呈灰色或黑色，表面光滑致密，掺金属的类金刚石涂层的硬度HV1800以上，膜基结合力达到50N以上，厚度为2.0μm～3.0μm，当摩擦副为Al2O3球时，掺金属的类金刚石涂层的干摩擦系数为0.1～0.25。

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