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长波平面型光电探测器微型球透镜制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN02133929.5
IPC分类号：--
申请日期：
2002-10-21
申请人：
重庆科业光电有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	长波平面型光电探测器微型球透镜制作方法
申请号	CN02133929.5	申请日期	2002-10-21
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2004-04-28	公开/公告号	CN1492245
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	重庆科业光电有限公司	申请人地址	重庆市南岸区南坪花园路14号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	重庆科业光电有限公司	当前权利人	重庆科业光电有限公司
发明人	朱华海
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种长波平面型光电探测器微型球透镜的制作方法，其特征在于：微型球透镜是在光电探测器管芯光敏面的衬底面，采用Ar+离子束刻蚀的方法制作的。将此种微型球透镜应用于光电探测器管芯背照面，可提高小结面积光电探测器管芯同光纤的耦合效率，从而提高了光电探测器的耦合效率。

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