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掩膜组件

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710072336.2
  • IPC分类号:C23C14/04;C23C14/24
  • 申请日期:
    2017-02-09
  • 申请人:
    张家港康得新光电材料有限公司
著录项信息
专利名称掩膜组件
申请号CN201710072336.2申请日期2017-02-09
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-06-06公开/公告号CN106801215A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/04IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;0;4;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人张家港康得新光电材料有限公司申请人地址
江苏省苏州市张家港市晨港路85号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人张家港康得新光电材料有限公司当前权利人张家港康得新光电材料有限公司
发明人周淑金
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司代理人赵囡囡;吴贵明
摘要
本发明提供了一种掩膜组件。该掩膜组件包括:碳纤维材料层,具有第一镂空区域;第一金属层,设置于碳纤维材料层的至少一侧表面,且第一金属层具有与第一镂空区域对应的第二镂空区域。由于碳纤维材料层具有低膨胀和高强度的特性,从而在应用上述掩膜组件时不仅降低了工艺中温度变化对其可靠性的影响,还减少了上述温度变化导致的掩膜组件中镂空图案的尺寸变化;并且,通过上述第一金属层能够使掩膜组件具有平滑表面,从而避免了在蒸发、溅射或印刷等制备工艺时材料在掩膜组件表面的堆积,进而省去了后续为去除上述堆积材料的刮除工序以及刮除工序带来的损伤,使掩膜组件同时满足了高强度和高精度的需求。

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