包含流动隔离环的处理套组

发明专利有效专利

申请号：
CN201680023407.3
IPC分类号：H01J37/32;C23C16/44
申请日期：
2016-03-16
申请人：
应用材料公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	包含流动隔离环的处理套组
申请号	CN201680023407.3	申请日期	2016-03-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-01-05	公开/公告号	CN107548515A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人	应用材料公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料公司	当前权利人	应用材料公司
发明人	D·R·杜鲍斯;K·高希;祝基恩;M·G·库尔卡尼;S·巴录佳;王彦杰;S·金
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	杨学春;侯颖媖

摘要

提供一种处理腔室，该处理腔室包括侧壁，具有外突出部分的基板支撑件及基板支撑件下方的气体入口。处理腔室进一步包括第一衬垫，第一衬垫绕基板支撑件的外突出部分的底表面设置。第一衬垫具有内表面，该内表面通过第一间隙而与基板支撑件的外突出部分分隔。处理腔室进一步包括流动隔离环，该流动隔离环具有内部底表面与外部底表面，该内部底表面设置于该基板支撑件的该外突出部分上，该外部底表面相对于该内部底表面向外延伸，该外部底表面覆盖在该第一间隙之上。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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